卷對卷沉積系統採用AVO觸控技術處理在金屬和塑料箔上的功能塗層
System description系統敘述
卷對卷沉積系統FHR.Roll.300-PVD是一種基於筒狀型的系統，用於在寬度達300 mm的金屬和塑料網上進行薄膜單通道PVD濺射沉積。該系統設計為在捲繞和放捲部分使用Interleaf卷材，並避免在任何時候觸摸箔片的塗佈面。它也可以根據客戶的要求進一步修改。一般的機器設計是基於一個單一的不銹鋼腔體室，該腔體通過兩個門擠壓閥被分成繞組和製程部分，這允許排氣繞組部分而不破壞製程部分中的真空。製程部分包含一個滾筒，該滾筒由四個平面濺射源和一個預清洗/蝕刻單元環繞。該系統也可以配備四個單旋轉濺射源。由於其高度的靈活性，該FHR.Roll.300-PVD系統非常適合在科學和工業環境中進行先進的研發和批量生產。
Process製程
- 使用平面或可旋轉磁控管的磁控濺射（DC和RF模式）
- 預處理（例如RF等離子蝕刻或DC線性離子源）
- AVO觸控技術
Benefits for the customer客戶效益
- 經過驗證，測試和可靠的系統概念
- 投資和運營成本低
- 根據客戶需求定制磁控管配置
- 快速裝載/卸載由於傳送室的排氣
- 快速且容易性的靶材替換
Key figures關鍵數據
Special features特別特色
- 卷對卷基材透過線圈和中央製程桶傳送
- 通過冷卻或加熱來整合基材溫度處理
- 全自動製程控制
- 無塵室與無塵室牆壁具有緊密性.
- CE標籤
- 德國製造
Typical applications典型應用
- 用於軟性電子和電池技術的接觸層，絕緣層和屏障層的沉積
- 光學層和功能層的沉積
