卷對卷式捲筒塗佈系統用於批式生產軟性電子產品和最先進的顯示器
System description系統敘述
工業規模的磁控濺射系統FHR.Roll.1600-ITO是用於PET（聚對苯二甲酸乙二醇酯），PEN（聚萘二甲酸乙二醇酯）或PI（聚酰亞胺）等聚合物箔的捲對卷塗佈的模組化真空塗佈系統。薄膜沉積系統FHR.Roll.1600-ITO的設計符合電子設備製造商的要求,並且非常適合彎曲顯示器，觸摸屏顯示器和軟性電子產品的大批量生產。此外，還可用於寬度為1000毫米（FHR.Roll.1000-ITO）和寬度為2400毫米（FHR.Roll.2400-ITO）的工業級濺射系統。
Process製程
- ITO的層堆疊的物理氣相沉積採用具有可旋轉及平面磁控管的濺射製程
- 通過輝光放電和基材加熱來對基材材料進行預處理
Benefits for the customer客戶效益
- 擴展的設計可具有一或兩個塗層桶
- 清潔沉積的條件和最低的異物產生量
- 先進的陰極環境設計
- 通暢性的網絡運輸系統
- 易於裝載和卸載基材捲筒
- 定位測量設備易監控層的性質
- 縮短停機時間的最小化
Technical Specifications技術規範
Double-drum version of FHR.Roll.1600-ITO
