卷对卷柔性镀膜设备适于柔性电子和最高水平显示屏大规模量产
设备介绍
工业级磁控溅射设备FHR.Roll.1600-ITO是 – 款模块化真空镀膜设备，用于诸如PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯) , PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)或PI(聚酰亚胺)的膜层制备。薄膜沉积设备FHR.Roll.1600-ITO设计用于满足电子器件生产需求，是可弯折显示器、触控显示屏和柔性电子器件高额量产化的理想设备。 另外，我公司亦可提供卷膜宽度1000mm (FHR.Roll.1000-ITO)和2400 mm (FHR.Roll.2400-ITO)的工业级磁控溅射设备。
工艺范围 
- 通过使用旋转和平面磁极的磁控溅射方式实现以ITO为 基础的多层膜的物理气相沉积工艺
- 通过辉光放电和衬底加热方式实现基片材料的预处理 工艺
客户优势
- 可选单工艺鼓或双工艺鼓式设计
- 镀膜工艺洁净并且产生的污染粒子最少
- 先进的阴极环境设计
- 卷膜传输过程无划痕无褶皱
- 轻松装载/卸载衬底
- 配备膜层性能在线监测设备
- 最小化停机时间
技术指标
双工艺鼓式 FHR.Roll.1600-ITO
