GST Valve

Vacuum valve to operate a standard feature, the Open or Close the gas, or flux can be controlled manually…

FHR ALD 100

原子層沉積 精確控制原子單層堆疊的成長 ALD反應器工具的特質:…

FHR ALD 150

原子層沉積 精確控制原子單層堆疊的成長 ALD反應器工具的特質:…

FHR ALD 300

FHR ALD 300 原子層沉積 精確控制原子單層堆疊的成長 ALD反應器工具的特質:…

FHR Star 300

標準兼容半導體的薄膜製程平台應用於微電子和光學的工業製造…

FHR Star 220

用於功能性塗佈與處理晶圓狀基材的多用途薄膜系統 System description系統敘述…

FHR Star 150 Co

用於傳感器應用,微電子和光電子功能層沉積的共同濺射系統…
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