双面沉积使用载体转动装置的紧凑型在线涂布系统
System description 系统叙述
FHR.Line.600.V是一个垂直连续式生产沉积系统，而用于涂覆尺寸达到500 x 500 x 12 mm3的平面基材.它被设计成一个单端系统，具有一个传送室模组及一个由翻板阀分离并装有两个门翼的过程模组.第一个门翼(法兰)包含一个用于预清洁基板的倒置式溅射蚀刻机。第二个门翼法兰可以安装最多两个600 mm长可旋转阴极应用于DC / MF溅射。传送室腔体设计为允许托架围绕其垂直轴完全自动旋转180°，这样就可以在不破坏真空的情况下对基板进行双面涂层。另外，载体可以在技术单元前摆动，并允许沉积多层系统。载体运输是由一系列由齿形皮带连接的滚轮完全自动完成，齿形皮带可按要求电绝缘，以便施加直流偏压。标准载体是设计用于运输一个尺寸为500 x 500 x 1 mm3的单一基材或是尺寸为50 x 50 x 1 mm3的36个基材，其他载体版本可根据要求提供。
Process制程
- 反应性和非反应性磁控管溅射沉积（标准DC，MF脉冲或RF应要求）
- 基材前清洗(例如反转溅射蚀刻)
Benefits for the customer对客户的效益
- 紧凑的设计并尽量减少占用空间
- 全自动化的制程控制
- 双面沉积的经济选择
- 吸引人的投资和运营成本
Key figures 关键数据
Special features特别特色
- CE 标签
- 德国制造
Options 选项
- 整合额外的模组制程
- 其次传送室模组用于双端涂层系统
Typical applications 典型应用
- MEMS和传感器的功能涂层
- 用于微电子和光电的多层薄膜
- 装饰品的涂布
